シリコンの抵抗率・ドーパント濃度コンバーター
semi-journal抵抗率からドーパント濃度計算
ドーパントを選択し、抵抗率またはドーパント濃度を入力すると、もう一方の値(ドーパント濃度または抵抗率)を計算します(※シリコン)。
ドーパント選択
抵抗率入力 [Ωcm]
ドーパント濃度 [cm³]
結果がここに表示されます
ドーパント濃度から抵抗率計算
ドーパント選択
ドーパント濃度入力 [cm³]
抵抗率 [Ωcm]
結果がここに表示されます
Irvin Curve(アーヴィンカーブ)
シリコンのドーパント濃度と抵抗率の関係は「Irvin curve(アーヴィンカーブ)」という経験式で表されます。
Irvin curveを用いることで、抵抗率とドーパント濃度を相互に換算することが可能です。本ツールでは下記式を用いて換算しています。
P型：抵抗率からドーパント濃度計算
$$N_B=\frac{1.33×10^{16}}{\rho}+\frac{1.082×10^{17}}{\rho[1+(54.56\rho)^{1.105}]}$$
P型：ドーパント濃度から抵抗率計算
$$\rho=\frac{1.305×10^{16}}{N_B}+\frac{1.133×10^{17}}{N_B[1+(2.58×10^{-19}N_B)^{-0.737}]}$$
N型：抵抗率からドーパント濃度計算
$$N_P=\frac{6.242×10^{18}×10^Z}{\rho}$$ $$Z=\frac{A_0+A_1x+A_2x^2+A_3x^3}{1+B_1x+B_2x^2+B_3x^3}$$ $$x=\log_{10}(\rho)$$ $$A_0=-3.1083,\quad A_1=-3.2626,\quad A_2=-1.2196,\quad A_3=-0.13923$$ $$B_1=1.0265,\quad B_2=0.38755,\quad B_3=0.041833$$
N型：ドーパント濃度から抵抗率計算
$$\rho=\frac{6.242×10^{18}×10^Z}{N_P}$$ $$Z=\frac{C_0+C_1y+C_2y^2+C_3y^3}{1+D_1y+D_2y^2+D_3y^3}$$ $$y=\log_{10}(N_P)-16$$ $$C_0=-3.0769,\quad C_1=2.2108,\quad C_2=-0.62272,\quad C_3=0.057501$$ $$D_1=-0.68157,\quad D_2=0.19833,\quad D_3=-0.018376$$
