半導体解説

シリコンの科学

STEP1 シリコン 結晶構造
シリコンの結晶構造
STEP2 シリコン 結晶面
Siの結晶面と結晶方位
STEP3 多結晶シリコン シーメンス法
多結晶シリコンの製造
STEP4 単結晶シリコン CZ FZ
単結晶Siの製造：CZ法・FZ法
STEP5 シリコン 偏析現象
シリコンの偏析現象
STEP6 シリコンウェハー 加工工程
Siウェハーの加工プロセス
STEP7 Si エピタキシャル成長
エピタキシャル成長の原理
STEP8 シリコン 汚染 種類
シリコンの汚染：汚染の種類
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