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シリコンの科学
STEP1
シリコンの結晶構造
STEP2
Siの結晶面と結晶方位
STEP3
多結晶シリコンの製造
STEP4
単結晶Siの製造:CZ法・FZ法
STEP5
シリコンの偏析現象
STEP6
Siウェハーの加工プロセス
STEP7
エピタキシャル成長の原理
STEP8
シリコンの汚染:汚染の種類
STEP9
Siウェハーの洗浄法
STEP10
Si表面の性質
STEP11
Siの酸化膜:構造と不純物拡散
STEP12
Siの熱酸化:Deal-Groveモデル
STEP13
Si/SiO
2
界面の構造と性質
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