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製造工程

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半導体解説

製造工程

半導体 製造工程
【図解】半導体製造工程フロー
STEP1 シリコンウェーハ
シリコンウェーハとは?
STEP2 洗浄
洗浄工程とは?
STEP3 成膜
成膜工程とは?
STEP4 フォトリソグラフィー
フォトリソグラフィーとは?
STEP5 スピンコート
スピンコートとは?
STEP6 露光
露光とは?
STEP7 液浸露光
液浸露光とは?
STEP8 開口数
開口数とは?
STEP9 現像
現像とは?装置の原理
STEP10 エッチング
エッチングとは?種類と原理
STEP11 アッシング レジスト剥離
アッシングとは?種類と原理
STEP12 マルチパターニング
マルチパターニングとは?
STEP13 CMP
CMPとは?
STEP14 イオン注入
イオン注入とは?
STEP15 アニール
アニールとは?
STEP16 配線工程
配線工程とは?
STEP17 ウェーハ検査
ウェーハ検査工程とは?
STEP18 ダイシング
ダイシング工程とは?
STEP19 ワイヤーボンディング
ワイヤーボンディングとは?
STEP20 モールディング
モールディングとは?
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