絶対濃度から相対濃度変換：atoms/cm³⇔ppma換算ツール
semi-journalシリコン中の不純物濃度について、絶対濃度(/cm³)と相対濃度(ppma, parts per million atomic)を相互に変換するツールです。
相対濃度(ppma) → 絶対濃度(atoms/cm³)変換
相対濃度を入力 [ppma]
絶対濃度 [atoms/cm³]
0 /cm³
絶対濃度(atoms/cm³) → 相対濃度(ppma)変換
絶対濃度を入力 [atoms/cm³]
相対濃度 [ppma]
0 ppma
計算方法
相対濃度であるppmaは、シリコンの原子密度に対して、不純物原子の割合を表します。シリコンの原子密度は5×10²² atoms/cm³のため、相対濃度・絶対濃度は以下式で計算されます。
相対濃度(ppma) → 絶対濃度(atoms/cm³)変換
$$絶対濃度[at/cm^3] = 相対濃度[ppma] \times 10^{-6} \times シリコン原子密度[at/cm^3]$$
絶対濃度(atoms/cm³) → 相対濃度(ppma)変換
$$相対濃度[ppma] = \frac {絶対濃度[atoms/cm^3]}{シリコン原子密度[at/cm^3]} \times 10^{6} $$
