バッファードフッ酸(buffered hydrofluoric acid)

フッ化水素酸(HF)とフッ化アンモニウム溶液(NH₄F)の混合水溶液。

半導体製造プロセスにおいて、SiO₂のエッチングに用いられる。HF濃度とNH₄Fを調整することで数十Å/min~数千Å/minの幅広いエッチングレートを持つ薬液が調整可能。

参考文献 参考図書

1. 超高純度バッファードフッ酸(ステラケミファ)

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