半導体製造の流れ11

半導体製造の流れ11

フォトリソグラフィーによる露光工程です。ソース・ドレイン領域の形成をイメージしています。

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半導体の製造工程

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キーワード

シリコン フォトリスグラフィー ソース ドレイン