FIB(focused ion beam)

集束イオンビーム(focused ion beam)の略。

イオン源から放出されたイオンビームをレンズで集束し、試料に照射し、発生した二次電子を検出することで顕微鏡像を得ることが出来る。また、イオンビームによるスパッタリング効果で試料を加工することが出来る。

参考文献 参考図書

1. 集束イオンビーム（FIB）装置の原理と応用(JAIMA)
2. 集束イオンビーム(FIB)：原理解説(HITACHI)

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