カソードルミネッセンス(cathodoluminescence)
材料に加速電子を照射することで電子正孔対を生成し、再結合する際に発光する現象。
発光には結晶のバンドギャップに相当するエネルギーを放出するバント端発光と、不純物準位起因の発光がある。発光波長と強度を分析することで、結晶性や、欠陥・不純物の種類と濃度を評価できる。
材料に加速電子を照射することで電子正孔対を生成し、再結合する際に発光する現象。
発光には結晶のバンドギャップに相当するエネルギーを放出するバント端発光と、不純物準位起因の発光がある。発光波長と強度を分析することで、結晶性や、欠陥・不純物の種類と濃度を評価できる。