QDR(Quick Dump Rins)
semi-journal基板表面に残留した薬液を短時間で除去する洗浄方法。
QDRでは洗浄槽に薬液の付着した基板を導入し、薬液濃度の高い洗浄水をバルブから急速に排出することと、新たな純水の投入を繰り返すことで基板表面の薬液を洗い流す。
QDRの洗浄槽底部には大口径のバルブが設けられ、バルブを開くことで急速に排液可能な構造となっている。
\専門家厳選！/
半導体学習に役立つ参考書・サイトsemi-journal
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QDRでは洗浄槽に薬液の付着した基板を導入し、薬液濃度の高い洗浄水をバルブから急速に排出することと、新たな純水の投入を繰り返すことで基板表面の薬液を洗い流す。
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