製造工程
半導体洗浄工程とは?洗浄装置の構成と種類

洗浄とは? 洗浄は「シリコンウェーハをきれいに洗浄し、ゴミ・汚れを取り除く工程」です。 半導体の製造工程数は500以上と言われていますが、その30%~40%を洗浄工程が占めると言われています。 洗浄工程で対象とする汚れに […]

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