薄膜の応力計算ツール：ストーニーの式
semi-journal材料を選択（基板）
ヤング率 (GPa):
ポアソン比:
膜厚 (μm):
基板厚さ (μm):
基板曲率半径 (mm):
応力計算結果
0 MPa
ストーニーの式：反り量と応力
薄膜形成による応力によって基板には反りが発生します。反り量から薄膜に働く応力を計算する式が「ストーニーの式」です。
$$\sigma = \frac{{E_s}{t_s}^2}{6(1-\nu_s)Rt_F}$$
Es：基板のヤング率、 νs：基板のポアソン比、 ts：基板の厚さ、 tF：薄膜の厚さ、 R：基板曲率半径
