半導体のエピタキシャル成長
2024年3月17日
エピタキシャル成長とは エピタキシャル成長とは「基板となる結晶の上に、結晶質の薄膜を成長するプロセス」です。 エピタキシャル成長には基板とエピ成長層の材料によって、ホモエピタキシャル成長とヘテロエピタキシャル成長に分けら […]
アドアトム(adatom)
2024年3月17日
結晶表面に吸着した原子。表面拡散によって移動する。結晶表面には平坦部のテラス、段差部のステップ、テラスの端であるキンク、表面に吸着した原子であるアドアトムが存在する。結晶のエピタキシャル成長では、テラスに吸着したアドアト […]
テラス(terrace)
2024年3月17日
結晶表面における原子の平坦部。結晶表面には平坦部のテラス、段差部のステップ、テラスの端であるキンク、表面に吸着した原子であるアドアトムが存在する。結晶のエピタキシャル成長では、テラスに吸着したアドアトムが拡散し、キンクに […]
ステップ(step)
2024年3月17日
結晶表面における原子の段差部。結晶表面には平坦部のテラス、段差部のステップ、テラスの端であるキンク、表面に吸着した原子であるアドアトムが存在する。結晶のエピタキシャル成長では、テラスに吸着したアドアトムが拡散し、キンクに […]
フォーミングガス(forming gas)
2024年2月19日
最大5％の水素を含む、窒素と水素の混合ガス。非爆発性。 非爆発性で安全なことから、水素ガスの特性が必要な場合の雰囲気として使用される。 参考文献 参考図書 実験室や産業炉での変成雰囲気(カーボライト) \専門家厳選！ […]