は行
フォーミングガス(forming gas)

最大5%の水素を含む、窒素と水素の混合ガス。非爆発性。 非爆発性で安全なことから、水素ガスの特性が必要な場合の雰囲気として使用される。 ​ 参考文献 参考図書 実験室や産業炉での変成雰囲気(カーボライト) \専門家厳選! […]

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た行
チップレット(chiplet)

(出典:EETimes) これまで1チップに集約した大規模集積回路を、小さなチップごとに個片化して制作し、インターポーザーと呼ばれるチップレット間をつなぐ基板上に乗せることで、1つのパッケージに収める技術。 従来は、大規 […]

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A-G
EE(equipment engineer)

Equipment Engineerの略。装置エンジニア。半導体の生産プロセスにおいて装置を管理する。 具体的には、 計画に沿った装置の導入・稼働 クリーンルーム内での装置の操作 製造不良低減(歩留まり改善) 装置不具合 […]

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さ行
装置エンジニア(equipment engineer)

半導体の生産プロセスにおいて装置を管理するエンジニア。 計画に沿った装置の導入・稼働 クリーンルーム内での装置の操作 製造不良低減(歩留まり改善) 装置不具合時の対応 など、半導体製造装置に関する幅広い業務を担当する。 […]

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O-U
PE(process engineer)

Process Engineerの略。プロセスエンジニアのこと。 プロセスエンジニアは半導体の生産プロセスを考えるエンジニアである。原材料の選定、歩留まり改善やコストや工数の削減といった技術開発、生産スケジュール管理、生 […]

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は行
プロセスエンジニア(process engineer)

半導体の生産プロセスを考えるエンジニア。原材料の選定、歩留まり改善やコストや工数の削減といった技術開発、生産スケジュール管理、生産トラブル対応を実施する。略してPEとも呼ばれる。 参考文献 参考図書 図解即戦力 半導体業 […]

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シリコンの科学
シリコンのゲッタリング:IG・EGの原理

半導体Siウェーハの表面金属汚染はデバイス特性を直接的に劣化させます。 例えば、デバイス工程において重金属汚染(酸化・拡散熱処理やプラズマエッチング工程など)が発生するとデバイス特性を劣化させ、歩留まりを低下させてしまい […]

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シリコンの科学
シリコン中の酸素の挙動:固溶度・定量・析出

Si中の酸素の役割・影響 半導体デバイスの多くはCZ法で製造されたシリコンウェーハを用いており、~1018原子/cm3の不純物酸素が含まれています(石英るつぼ由来の酸素)。不純物酸素はデバイス特性に正負の影響を及ぼします […]

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シリコンの科学
シリコンの窒化膜:用途・製法・性質

シリコン窒化膜の用途 シリコン窒化膜はシリコン酸化膜と比べて、優れた特性を有することが知られています。 シリコン窒化膜は緻密な構造を有し、化学的安定性に優れていることから、マスク材料、絶縁膜、水分バリア膜、酸化バリア膜、 […]

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企業解説
レーザーテックの企業研究:売上・年収・特徴

会社概要 レーザーテックは1962年に設立された、半導体関連装置を製造する装置メーカーです。フォトリソグラフィー工程で使用されるフォトマスク・マスクブランクスの検査装置で高シェアを有しています。 売上高1528億円(20 […]

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