4探針法(four-probe method)

(出典：Ossila)

半導体の抵抗率を測定する方法。基板表面に4本の探針を接触させ、外側の針間に電流を流しながら、内側の針間の電圧を測定することで低効率を測定する。

2探針法では端子間に流した電流とその時の電圧値から抵抗率を測定するが、その場合は針間の接触抵抗も含まれる。4探針法では電流印加端子と電圧測定端子とを分離することで、接触抵抗の影響を除いた高精度測定が可能となる。

参考文献 参考図書

1. ４探針法(株式会社DJK)
2. Calculate Sheet Resistance Using the Four-Probe Method(Ossila)

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