BMD(bulk micro defect)

シリコン中の結晶欠陥を指す言葉。通常はSi中の酸素析出物(SiO₂)を指すことが多い。

BMDは以下の多様な欠陥を含んでいる。

• 酸素析出物(SiO₂)
• COP(crystal originated particle)
• 転位(dislocation)

特に、酸素析出物は重金属などの不純物を捕獲するゲッタリングサイトとして機能するため、デバイス工程において積極的に利用されている。

シリコンウェーハ中のBMDを検出する方法には「赤外トモグラフ法」が用いられる。

(出典:MEMC)

赤外散乱トモグラフィー(LST)：測定原理と応用例

参考文献 参考図書

1. 結晶検査装置(SEMILAB)

\専門家厳選！/

半導体学習に役立つ参考書・サイト