ヘテロエピタキシャル成長(heteroepitaxial growth)

2023年3月19日 最終更新日時 : 2023年4月28日 semi-journal
ホモエピ ヘテロエピ成長

エピタキシャル成長の内、基板とエピ層が異種材料であるもの。

基板とエピ膜が同材料のものはホモエピタキシャル成長と呼ばれる。

エピタキシャル成長の原理：Siのエピ成長

ホモエピタキシャル成長

ヘテロエピタキシャル成長

  1. エピタキシャル成長(Wikipedia)
  2. 半導体シリコン結晶工学(Amazon)
  3. 特殊加工工程(SUMCO)
  4. トリクロロシラン(Wikipedia)
  5. 安全データシート：トリクロロシラン(厚生労働省)
  6. 分子線エピタキシー法(Wikipedia)
  7. デバイス開発ヒストリー(アンリツ)
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