原子番号効果(atomic-number effect)

特性X線の発生量が原子番号によって異なる効果。

入射電子線の散乱は原子の電子密度に比例するため、原子番号が大きい元素では散乱電子が増加し、入射電子による励起が減少するため特性X線の発生が少なくなる。一方、原子番号が小さい場合にはその効果は小さい。

原子番号が大きく異なる場合、原子番号効果が顕著に出る。すなわち、原子番号が大きい元素が少なく見積もられ、定量分析に影響を与える。そのため、原子番号補正が必要となる。

参考文献 参考図書

1. 原子番号効果(JEOL)
2. 原子番号効果による合金表面の観察(実務表面技術)
3. なぜ重量濃度？(SEMTEK)

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