特性X線(characteristic X-ray)

物質に十分なエネルギーの電子線を照射した際に生じるX線。発生するエネルギーは物質に固有なため、特性X線を調べることで元素分析が出来る。

発生原理は以下の通り。

1. 電子線の照射で内殻電子が励起されホールが生じる
2. 外殻電子がホールを埋めるよう遷移
3. 内殻と外殻のエネルギー差に相当するX線が放出

特性X線による元素分析はSEMやTEMと付随して測定されることが多い。

走査型電子顕微鏡(SEM)とは

透過型電子顕微鏡(TEM)とは

参考文献 参考図書

1. エネルギー分散型X線分析(Wikipedia)
2. [SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)(Wikipedia)

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