ラマン分光法(Raman spectroscopy)

(出典:東芝ナノアナリシス)

物質に光を照射した際に発生するラマン散乱光を用いて、物質を評価する手法。結晶性や、応力分布を評価することが出来る。

デバイスプロセスにおける成膜後の基板の応力測定や、結晶欠陥による応力測定などに用いられている。

ラマン分光法とは：測定原理と応用例

参考文献 参考図書

1. ラマン分光の原理(HORIBA)
2. ラマン分光法の原理と特徴(Nanophoton)
3. ラマン散乱分光による応力/ひずみ分布評価(東芝ナノアナリシス)
4. 物理化学概論(九州工業大学)
5. 双極子(Wikipedia)
6. 目で見て分かるラマン分光(YouTube)
7. シリコン（Si）のひずみ・応力評価(Nanophoton)
8. ラマン分光法による半導体の微小応力測定(日本分光)

\専門家厳選！/

半導体学習に役立つ参考書・サイト