ラマン分光法(Raman spectroscopy)

物質に光を照射した際に発生するラマン散乱光を用いて、物質を評価する手法。結晶性や、応力分布を評価することが出来る。

デバイスプロセスにおける成膜後の基板の応力測定や、結晶欠陥による応力測定などに用いられている。

ラマン分光法とは:測定原理と応用例

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