シーメンス法(siemens process)

(出典:Publico)

ドイツのシーメンス社によって開発された高純度多結晶シリコンを得るための精製法。

金属シリコンから製造されたトリクロロシラン(SiHCl₃)を原料に、高温で水素ガスと反応・熱分解させることで高純度のSiを析出させる。

• 主反応：SiHCl₃+H₂→Si+3HCl
• 副反応：4SiHCl₃→3SiCl₄+Si+2H₂

主反応では1molのSiHCl₃から1molのSiが1対1で析出するが、実際は副反応のSiHCl₃の熱分解が進行する。すなわち、4molのSiHCl₃から3molの3SiCl₄と1molのSiが生成し、収率は最大でも25%となる。

高純度多結晶シリコンの製造：シーメンス法の原理

参考文献 参考図書

1. 高純度多結晶シリコン(トクヤマ)
2. トリクロロシラン(Wikipedia)
3. バーチャル工場見学 vol.01(三菱マテリアル)
4. 特開2016-079053(トクヤマ)

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