ステップ(step)

ステップ テラス キンク

結晶表面における原子の段差部。結晶表面には平坦部のテラス、段差部のステップ、テラスの端であるキンク、表面に吸着した原子であるアドアトムが存在する。結晶のエピタキシャル成長では、テラスに吸着したアドアトムが拡散し、キンクに優先的に取り込まれ、ステップが前進しながら層成長する。

半導体のエピタキシャル成長

テラス

キンク

アドアトム

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