半導体洗浄工程とは？洗浄装置の構成と種類
2022年2月17日
洗浄とは？ 洗浄は「シリコンウェーハをきれいに洗浄し、ゴミ・汚れを取り除く工程」です。 半導体の製造工程数は500以上と言われていますが、その30%～40%を洗浄工程が占めると言われています。 洗浄工程で対象とする汚れに […]
洗浄とは？ 洗浄は「シリコンウェーハをきれいに洗浄し、ゴミ・汚れを取り除く工程」です。 半導体の製造工程数は500以上と言われていますが、その30%～40%を洗浄工程が占めると言われています。 洗浄工程で対象とする汚れに […]