フォトルミネッセンス(photoluminescence)

PL 原理

半導体材料に光を照射し、生成した電子・正孔対が、基底状態に戻る際に発光する光を解析する分析法。PLスペクトルから欠陥・不純物の種類・濃度を知ることが出来る。

フォトルミネッセンス法(PL)とは

シリコンのフォトルミネッセンス(PL)

カソードルミネッセンス(CL)

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