アドアトム(adatom)

結晶表面に吸着した原子。表面拡散によって移動する。結晶表面には平坦部のテラス、段差部のステップ、テラスの端であるキンク、表面に吸着した原子であるアドアトムが存在する。結晶のエピタキシャル成長では、テラスに吸着したアドアトムが拡散し、キンクに優先的に取り込まれ、ステップが前進しながら層成長する。

半導体のエピタキシャル成長

テラス

ステップ

キンク

参考文献 参考図書

1. 半導体シリコン結晶工学(Amazon)
2. 表面科学(Wikipedia)

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