DZ層(Denuded Zone)

DZ層

Siウェーハ表面に形成した、酸素析出物や結晶欠陥が全くない層のこと。

ウェーハを例えば1200℃・窒素中で熱処理を行うことで酸素を外方拡散させ、酸素析出物を消去することで作製する。

半導体の外方拡散・内方拡散

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