DZ層(Denuded Zone)

2022年12月29日 最終更新日時 : 2023年4月28日 semi-journal
DZ層
DZ層 Siウェーハ

(出典:MEMC)

Siウェーハ表面に形成した、酸素析出物や結晶欠陥が全くない層のこと。

ウェーハを例えば1200℃・窒素中で熱処理を行うことで酸素を外方拡散させ、酸素析出物を消去することで作製する。

半導体の外方拡散・内方拡散

  1. MAGIC DENUDED ZONE(MEMC)
  2. シリコン結晶とその格子欠陥(生産と技術)

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