外方拡散(out-diffusion)

ウェーハ中の原子が熱処理などに外側に放出されること。対義語は内方拡散。

外方拡散を利用する例として、酸素の外方拡散を利用したSiウェーハ表面のDZ層形成がある。一方で、ドーパントが雰囲気中に外方拡散すると、エピ成長時の抵抗率ばらつきなど悪影響を及ぼす。

半導体の外方拡散・内方拡散

DZ層

内方拡散

参考文献 参考図書

1. シリコン結晶とその格子欠陥(生産と技術)
2. MAGIC DENUDED ZONE(MEMC)
3. 特開2004-63865(信越半導体)

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