内方拡散(in-diffusion)

2022年12月29日 最終更新日時 : 2023年4月28日 semi-journal
内方拡散 外方拡散

Siウェーハが、雰囲気や隣接する基盤から拡散により原子をウェーハ内に取り込む現象。対義語は外方拡散。

半導体の外方拡散・内方拡散

外方拡散

  1. シリコン結晶とその格子欠陥(生産と技術)
  2. MAGIC DENUDED ZONE(MEMC)
  3. 特開2004-63865(信越半導体)

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