FOSB(Front Opening Shipping Box)

(出典:ミライアル)

Front Opening Shipping Boxの略であり、300mmウェーハを保持する機構を有する搬送BOXのこと。

FOUPよりもウェーハの抑えバネが強く、しっかりと保持することから、ウェーハメーカーからデバイスメーカーへの輸送や、デバイスメーカーの工場間の長距離輸送などに用いられる。

半導体ウェーハ搬送容器：FOSB・FOUPの違い

FOUP

参考文献 参考図書

1. 300mm FOSB(ミライアル)
2. 300mm FOUP(ミライアル)
3. 半導体ウエーハ用ケース(信越アステック)
4. FOUP(Wikipedia)
5. FOSB(東京精密)

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