FOUP(Front Opening Unified Pod)

Front Opening Unified Podの略であり、300mmウェーハを装置内に搬送・搬入する際に使用されるBOXのこと。

FOSBよりもウェーハ保持機構が弱く、ウェーハを半導体製造装置内に導入する際や、工場内での移動用として使用される。

半導体ウェーハ搬送容器:FOSB・FOUPの違い

FOSB

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