エレクトロマイグレーション(electromigration)

2022年7月24日 最終更新日時 : 2023年4月28日 semi-journal

金属配線に流れる電子が金属原子と衝突し、金属原子が移動する現象。

金属原子が減少する箇所は断線、増加する箇所は短絡するため、半導体デバイスの長期信頼性低下につながる。高温・高電流密度下で発生しやすい。

半導体の配線工程

  1. 金属接合部のエレクトロマイグレーション発生メカニズムの基礎と信頼性課題(エレクトロニクス実装学会)
  2. エレクトロマイグレーション(Wikipedia)

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