インプレーン回折(in-plane diffraction)

2022年8月18日 最終更新日時 : 2023年6月11日 semi-journal
in-plane out-plane

(出典：富士時報)

試料に対し0.1-0.5°の浅い角度でX線を入射することで、X線回折パターンを得る分析法。X線の侵入深さが極めて浅くなり、基板由来の信号強度が小さくなるため、薄膜の分析に用いられる。

X線回折法(XRD)とは

  1. 薄膜の結晶構造解析技術(富士時報)
  2. 粉末未知結晶構造解析の紹介(Rigaku)
  3. 薄膜X線測定技術の基礎と応用(九州大学中央分析センター)
  4. 薄膜X線回折(XRD)(東芝ナノアナリシス)

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