in-plane

試料表面に対して垂直な格子面を測定するX線回折法。XRDには、測定する結晶格子面によって以下の2手法がある。

  • Out-of-Plane測定:試料表面に対して平行な格子面を測定
  • In-Plane測定:試料表面に対して垂直な格子面を測定

X線回折法(XRD)とは

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