out-of-plane

試料表面に対して平行な格子面を測定するX線回折法。XRDには、測定する結晶格子面によって以下の2手法がある。

(出典：富士時報)

• Out-of-Plane測定：試料表面に対して平行な格子面を測定
• In-Plane測定：試料表面に対して垂直な格子面を測定

通常のX線回折はout-of-plane測定である。薄膜の分析にはインプレーン回折法が用いられている。

インプレーン回折

X線回折法(XRD)とは

参考文献 参考図書

1. 薄膜の結晶構造解析技術(富士時報)
2. 粉末未知結晶構造解析の紹介(Rigaku)
3. 薄膜X線測定技術の基礎と応用(九州大学中央分析センター)
4. 薄膜X線回折(XRD)(東芝ナノアナリシス)

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