μ-PCD法(micro photo conductivity decay)

Siウェーハのライフタイム測定法の一種。Siウェーハにバンドギャップエネルギー以上のレーザー光を照射し、少数キャリア量の時間変化をマイクロ波によって検出しライフタイムを測定する。

マイクロ波の反射率はキャリア濃度が高い程大きい為、マイクロ波の反射強度から少数キャリア濃度を算出することが出来る。

少数キャリアライフタイム(LT)：測定原理と応用例

参考文献 参考図書

1. キャリアライフタイム(大阪工業大学)
2. μ-PCD法による半導体材料のライフタイム分析(東レリサーチセンター)
3. キャリア・ライフタイム(SEMILAB)
4. 少数キャリア・ライフタイム測定とは(SEMILAB)
5. μ-PCD法による酸化物半導体薄膜の評価装置(コベルコ科研)

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