オリフラ(orientation flat)

オリエンテーションフラットの略で、円形のシリコンウェーハに形成された一部が平らになった部分。ウェーハの結晶方位を示す。

200mm以下の小口径にはオリフラが用いられ、300mm(12inch)の大口径ウェーハにはノッチと呼ばれる切り欠きが方位の目印に用いられている。

ノッチ

参考文献 参考図書

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