ノッチ(notch)
semi-journal
シリコンウェーハに形成された、V字型の切り欠き。ウェーハの結晶方位を示す。
300mm(12inch)の大口径ウェーハにはノッチが用いられ、200mm以下の小口径にはオリフラと呼ばれる切り欠きが方位の目印に用いられている。
\専門家厳選！/
半導体学習に役立つ参考書・サイトsemi-journal
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