プリベーク(pre-bake)
semi-journalフォトリソグラフィー工程において、レジスト塗布した後に行われる軽い熱処理。焼きしめ。
レジスト中の有機溶媒を蒸発させることで、レジストを硬化し、Siウェーハとの密着性を高めることが出来る。
\専門家厳選！/
半導体学習に役立つ参考書・サイトsemi-journal
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