焼きしめ(baking)
semi-journal半導体の製造工程において、水分や有機溶媒の揮発、膜の改質、下地への密着性向上などを目的とした軽い熱処理。
以下の2つが焼きしめの代表例。
- プリベーク
- ポストベーク
\専門家厳選！/
半導体学習に役立つ参考書・サイトsemi-journal
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