低温PL(low temperature photoluminescence)

低温に冷却した半導体材料に光を照射し、生成した電子・正孔対が、基底状態に戻る際に発光する光を解析する分析法。PLスペクトルから欠陥・不純物の種類・濃度を知ることが出来る。

常温の物質の準位は、それぞれ振動・回転準位を有するため発光スペクトルはブロードとなる。低温状態では高次の振動・回転準位が抑えられ、発光ピークがシャープになることから、より詳細なスペクトル解析が可能となる。

また、室温で観測されない励起子による発光や、不純物・欠陥準位による発光が観察されやすくなる。

フォトルミネッセンス法(PL)とは

シリコンのフォトルミネッセンス(PL)

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