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ヘテロエピタキシャル成長(heteroepitaxial growth)
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ホモエピタキシャル成長(homoepitaxial growth)
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エピタキシャル成長の原理：Siのエピ成長
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シリコンウェハーの製造：ウェハー加工工程と原理
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シリコンの偏析現象：偏析係数と固溶度
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単結晶シリコンの製造：CZ法・FZ法の原理
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高純度多結晶シリコンの製造：シーメンス法の原理
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シリコンの結晶面と結晶方位：ミラー指数と面のなす角
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シリコンの結晶構造：ダイヤモンド構造と原子密度の算出
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ホール電圧(Hall voltage)
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