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結合性軌道(bonding orbital)
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ホール伝導(hole conduction)
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価電子(valence electron)
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原子核(atomic nucleus)
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電気伝導率(electrical conductivity)
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電気抵抗率(electrical resistivity)
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Siウェハーの洗浄法：RCA・気相洗浄法の原理
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シリコンの汚染：各工程における汚染の種類
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