ローレンツ力(Lorentz force)
磁場中を運動する荷電粒子が受ける力。ローレンツ力の向きはフレミング左手の法則に基づき、磁場・電場とも垂直な方向に発生する。 ローレンツ力による起電力の発生を「ホール効果」と呼び、半導体のPN判定やキャリア移動度算出に用い […]
ホール効果(Hall effect)
半導体試料に一定方向の電流を流し、電流と直交する方向に磁場を印加すると、電流と磁場の両方に直交する方向に電場(ホール(Hall)電場)が発生する現象。 例えばn型半導体の場合、電場中を移動する電子はローレンツ力を受け、半 […]
ホール効果測定とは：キャリア移動度の測定原理
ホール効果測定とは？ ホール効果測定は「磁場中の半導体試料に電流を流した際に発生する電場(ホール電場)を測定する手法」です。 電子・正孔のキャリア移動度を算出することが可能です。 ホール効果測定は半導体のキャリア移動度を […]
永久双極子(permanent dipole)
極性分子等に見られる、分子構造などにより永久的に発生する双極子。 例えばHClの場合、電気陰性度はCl(3.16)>H(2.20)とClの方が大きく、電子雲はCl側に偏る。相対的にCl側はマイナス、H側はプラスになるため […]
瞬間双極子(momentary dipole)
瞬間的な電子雲の偏りによる瞬間的な双極子。 電子は原子の周りに確率的に存在しており、電子雲として表現される。例え無極性分子であっても、分子中の電子分布は瞬間的には非対称となり、電荷に偏りが生じる瞬間が発生する。この電荷の […]
誘起双極子(induced dipole)
電場等の外部要因によって誘起された電荷の偏りによる双極子。 例えば、物質に外部電場を与えると、外部電場の符号に合わせ電子雲に偏りが生じる。電荷が偏った結果発生する双極子を誘起双極子と呼ぶ。 双極子 永久双極子 瞬間双極子 […]
双極子(dipole)
分子や結晶中における電荷の偏りのこと。正負の電荷間の双極子の強さを表すベクトルを双極子モーメントと呼ぶ。 通常、結晶や分子は電気的に中性であるが、原子・分子レベルで見ると電荷の偏りが存在する。偏った電荷はや電気や磁気的性 […]
ラマン分光法(Raman spectroscopy)
(出典:東芝ナノアナリシス) 物質に光を照射した際に発生するラマン散乱光を用いて、物質を評価する手法。結晶性や、応力分布を評価することが出来る。 デバイスプロセスにおける成膜後の基板の応力測定や、結晶欠陥による応力測定な […]
ラマン分光法(Raman)とは：測定原理と応用例
ラマン分光法とは？ (出典:東芝ナノアナリシス) ラマン分光法(Raman)は「物質に光を照射した際に発生する"ラマン光"を用いて、物質を評価する手法」です。 ラマン分光法により得られたラマンスペクトルを分析することによ […]
フルサイト(full site)
Siウェーハをある一定領域ごと(サイト)に分けた際、領域全てがFQA(Fixed Quality Area)に含まれるサイト。 領域の一部がFQAからはみ出ているサイトはパーシャルサイトと呼ぶ。 パーシャルサイト FQA […]