か行
化学気相成長(Chemical Vapor Deposition)
続きを読む
A-G
CVD(Chemical Vapor Deposition)
続きを読む
あ行
エピタキシャル成長(epitaxial growth)
続きを読む
は行
ヘテロエピタキシャル成長(heteroepitaxial growth)
続きを読む
は行
ホモエピタキシャル成長(homoepitaxial growth)
続きを読む
シリコンの科学
エピタキシャル成長の原理：Siのエピ成長
続きを読む
シリコンの科学
シリコンウェハーの製造：ウェハー加工工程と原理
続きを読む
シリコンの科学
シリコンの偏析現象：偏析係数と固溶度
続きを読む
シリコンの科学
単結晶シリコンの製造：CZ法・FZ法の原理
続きを読む
シリコンの科学
高純度多結晶シリコンの製造：シーメンス法の原理
続きを読む