EEA(Edge Exclusive Area)
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Siウェーハの最外周部(エッジ近傍)の領域。
ウェーハ最外周部は平坦度などの品質担保が難しく、全体に適用される品質保証項目から除外される。平坦度などの品質項目が保証された領域はFQAと呼ばれる。
最周辺部は、最終研磨時に厚さがわずかに減少することが多く、フォトリソ工程での影響が懸念されるため、品質保証項目から除外される。
一方、外周部の厚さはデバイスプロセスでのCMPやフォトリソ工程で重要であることから、外周形状は依然として重要である。
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