LSTD(Laser Scattering Tomography Defect)

(出典:SEMILAB)

赤外散乱トモグラフィー(LST)で検出される欠陥・異物の総称。

LSTでは赤外散乱する物質であればすべて検出されるため、析出物やVoid、異物などの区別がつかない。そのため、LSTで検出された欠陥は全てLSTDとして総称される。

実際には、欠陥のサイズ・密度、形状や製造条件からどの欠陥が優勢か判断し、測定している主要欠陥がBMDかVoidか判断する。

赤外散乱トモグラフィー(LST)：測定原理と応用例

参考文献 参考図書

1. はじめての半導体シリコン(工業調査会)
2. MAGIC DENUDED ZONE(MEMC)
3. 光散乱断層撮影法(LST)(SEMILAB)
4. 結晶欠陥検査(LST)(SEMILAB)

\専門家厳選！/

半導体学習に役立つ参考書・サイト