パーシャルサイト(partial site)

2023年1月11日 最終更新日時 : 2023年4月28日 semi-journal
フルサイト パーシャルサイト

Siウェーハをある一定領域ごと(サイト)に分けた際、領域の一部がFQA(Fixed Quality Area)からはみ出ているサイト。

領域全てがFQAに含まれるサイトはフルサイトと呼ぶ。

フルサイト

FQA

EEA

  1. はじめての半導体シリコン(工業調査会)

はじめての半導体シリコン
半導体業界の製造工程とビジネスがこれ1 冊でしっかりわかる教科書
半導体工場のすべて

\専門家厳選！/

半導体学習に役立つ参考書・サイト
用語集に戻る
カテゴリー
は行

コメントを残す

メールアドレスが公開されることはありません。 ※ が付いている欄は必須項目です

前の記事
LSTD(Laser Scattering Tomography Defect)
2023年1月8日
次の記事
フルサイト(full site)
2023年1月11日