フルサイト(full site)

2023年1月11日 最終更新日時 : 2023年4月28日 semi-journal
フルサイト パーシャルサイト

Siウェーハをある一定領域ごと(サイト)に分けた際、領域全てがFQA(Fixed Quality Area)に含まれるサイト。

領域の一部がFQAからはみ出ているサイトはパーシャルサイトと呼ぶ。

パーシャルサイト

FQA

EEA

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はじめての半導体シリコン
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