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水・水処理技術

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半導体解説

水・水処理技術

半導体における水の重要性:なぜ半導体製造に大量の純水が必要なのか
半導体における水の重要性
水分子による水和のメカニズム
水分子による水和・水和物
半導体製造を支える純水・超純水とは:定義・純度・電気抵抗率(比抵抗)
純水・超純水の定義:抵抗率
半導体に必要な超純水の不純物種類
純水の不純物
超純水の製造プロセス:前処理・一次純水・二次純水のしくみ
超純水の製造プロセス
砂ろ過とは:超純水製造における粗大粒子ろ過とバックウォッシュ
砂ろ過とは
活性炭ろ過とは:超純水製造における役割
活性炭ろ過とは
逆浸透膜(RO膜とは)
逆浸透膜(RO膜)とは
超純水製造における脱気膜とは:役割・構造・原理
脱気膜とは
EDI(電気式脱塩)とは:役割・構造・原理
EDI(電気式脱塩)とは
超純水製造における紫外線(UV)照射とは:役割・構造・原理
紫外線(UV)照射の役割
イオン交換樹脂(IER)とは:陽イオン・陰イオン交換樹脂
イオン交換樹脂とは
限外ろ過膜(UF膜)とは:超純水製造の最終工程
限外ろ過膜(UF膜)とは
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