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DZ層(Denuded Zone)
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半導体の外方拡散・内方拡散
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ULSI(Ultra Large Scale Integration)
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VLSI(Very Large Scale Integration)
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LSI(Large Scale Integration)
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FOUP(Front Opening Unified Pod)
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FOSB(Front Opening Shipping Box)
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リファレンス
半導体ウェーハ搬送容器:FOSB・FOUPの違い
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あ行
エピハウス(epi house)
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O-U
QDR(Quick Dump Rins)
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