位相コントラスト(phase contrast)
結晶性の薄片試料をTEM・STEM測定した際に生じる、透過電子と散乱電子の位相差によるコントラスト。 薄片試料に電子線を照射すると、そのまま透過する透過電子と、試料の電子により散乱された散乱電子が観察される。散乱電子は振 […]
回折コントラスト(diffraction contrast)
結晶性の薄片試料をTEM・STEM測定した際に生じる、回折に起因するコントラスト。 例えば多結晶の場合、各結晶粒で方位が異なるため、結晶粒ごとに電子線の回折条件が異なる。回折を起こした部分は明るく、回折条件を満たさない箇 […]
間接遷移型半導体(indirect bandgap semiconductor)
伝導帯の電子と価電子帯の正孔が再結合する際に、波数が変化する半導体。 伝導帯の底と価電子帯の頂上が同一の波数ベクトル上に存在しないため、波数を変化させるために運動量が必要となる。そのため、格子振動(フォノン)の吸収や放出 […]
直接遷移型半導体(direct bandgap semiconductor)
伝導帯の電子と価電子帯の正孔が再結合する際に、波数が変わらない半導体。 伝導帯の底と価電子帯の頂上が同一の波数ベクトル上に存在する。キャリアの再結合にフォノンを介在する必要がない為、キャリア寿命が短く、発光効率が高くなり […]
透過型電子顕微鏡(TEM)とは：測定原理と応用例
光学顕微鏡では光の波長より小さなものを見ることが出来ません。そこで活躍するのがSEMやTEMといった電子顕微鏡です。 透過型電子顕微鏡(TEM)とは (出典：JEOL, 東ソー分析センター) 透過型電子顕微鏡(Trans […]
走査型電子顕微鏡(SEM)とは：測定原理と応用例
走査電子顕微鏡とは (出典：JEOL) 走査電子顕微鏡(SEM)は「試料に電子線を照射することで、ナノメートルオーダーの微小な表面構造を観察する装置・方法」です。 光学顕微鏡では光の波長よりも小さな物質を観察することはで […]
赤外分光法(FTIR)とは：測定原理と応用例
赤外分光法とは (出典：日本分光) 赤外分光法(FTIR)は「物質に赤外線を照射し、吸収された波長・強度を分析することで、物質の同定や官能基の評価を行う方法」です。 FTIRによって得られた波形を赤外吸収スペクトルと呼び […]
シリコンミッシング(silicon missing)
FinFETなどのSiピラー・Siフィンを熱酸化し、表面にゲート酸化膜を形成する過程において、ピラーやフィンからシリコン原子が放出され、ピラー・フィンが過剰に細くなってしまう現象。 ピラー・フィンが細くなると構造が倒壊し […]
脈流(pulsating current)
流れる方向が一定で、電流・電圧の大きさが周期的な変動をする電流のこと。 ダイオードを用い、交流を整流した際に生成される。 参考文献 参考図書 脈流(Wikipedia) \専門家厳選！/ 半導体学習に役立つ参考書・サイト […]