は行
ポストベーク(post exposure bake)
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は行
プリベーク(pre-bake)
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や行
焼きしめ(baking)
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た行
低温PL(low temperature photoluminescence)
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A-G
CL(cathodoluminescence)
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か行
カソードルミネッセンス(cathodoluminescence)
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O-U
PL(photoluminescence)
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リファレンス
シリコンのフォトルミネッセンス(PL)：発光の種類
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製造工程
開口数(NA)とは何か？わかりやすく図解
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な行
内部微小欠陥(bulk micro defect)
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